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計算光刻
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光刻工藝過程可以用光學和化學模型，借助數(shù)學公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級被投影透鏡收集并會聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個光學過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學反應，烘烤后導致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學過程。計算光刻就是使用計算機來模擬、仿真這些光學和化學過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導工藝參數(shù)的優(yōu)化

國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設備出機中芯國際，面向 300mm（12 英寸）硅片工藝制程
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國內(nèi)首臺關(guān)鍵尺寸量測設備（CD-SEM）已成功出機給中芯國際，這臺設備面向300mm（12英寸）硅片工藝制程，具有里程碑式的意義。以下是對該事件的詳細分析：一、設備詳情型號：SEpA-c410制造商：東方晶源面向工藝制程：300mm（12英寸）硅片工藝制程技術(shù)特點：通過先進的電子束成像系統(tǒng)和高速硅片傳輸方案，搭配精準的量測算法，可實現(xiàn)高重......
電子束缺... 芯片制造 計算光刻
2021-07-07
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中科院上海光機所計算光刻技術(shù)研究取得進展
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開關(guān)電源外圍電路中使用的元器件種類繁多，性能各異，大致可分為通用元器件和特種元器件兩大類。以下是開關(guān)電源中通用元器件的一些主要類型：一、電阻取樣電阻：構(gòu)成輸出電壓的取樣電路，將取樣電壓送至反饋電路，用來穩(wěn)定電壓輸出。均壓電阻：在開關(guān)電源的對稱直流輸入電路中起到均壓作用，有時也稱為平衡電阻。分壓電阻：構(gòu)成電阻分壓器。泄放電阻：斷電時可將電磁......
集成電路... 計算光刻... 成像系統(tǒng)
2021-06-15
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