在電力電子行業的發展過程中，半導體技術起到了決定性作用。其中，功率半導體器件一直被認為是電力電子設備的關鍵組成部分。隨著電力電子技術在工業、醫療、交通、消費等行業的廣泛應用，功率半導體器件直接影響著這些電力電子設備的成本和效率。自從二十世紀五十年代真空管被固態器件代替以來，以硅(Si)材料為主的功率半導體器件就一直扮演著重要的角色。功率雙極性晶體管及晶閘管的問世，大大減小的電力電子設備的體積重量，同時提高了變換效率。為了滿足更高工作頻率及更高功率等級的要求，IR(International Rectifier)公司研發出首款功率MOSFET，接下來的二十年，功率半導體器件進入一個蓬勃發展的時期，很多新型的功率器件，比如IGBT、GTO、IPM相繼問世，并且在相關領域內得到越來越廣泛的應用。功率硅器件的應用已經相當成熟，但隨著日益增長的行業需求，硅器件由于其本身物理特性的限制，已經開始不適用于一些高壓、高溫、高效率及高功率密度的應用場合。