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超高分辨光學檢測系統
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超高分辨,高靈敏光學檢測方法與技術不僅是獲取物質微觀信息的重要手段,同時也是高精度光學加工,高精密3D打印等先進制造技術的基礎.本文簡要介紹和分析了超高分辨和高靈敏光學成像技術,亞納米級精度光學表面檢測技術,三維空間信息精確提取與精密檢測技術,以及高靈敏度精細光譜實時檢測技術等方向的發展歷史,現狀以及發展趨勢,結合我國的戰略需求,對"十三五"期間應重點開展的超高分辨,高靈敏光學檢測方法與技術提出了建議和展望.

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2021-12-06
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