晶圓級光學薄膜
晶圓級光學薄膜
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由薄的分層介質構成的,通過界面傳播光束的一類光學介質材料。光學薄膜的應用始于20世紀30年代。現代,光學薄膜已廣泛用于光學和光電子技術領域,制造各種光學儀器。主要的光學薄膜器件包括反射膜、減反射膜、偏振膜、干涉濾光片和分光鏡等等。它們在國民經濟和國防建設中得到了廣泛的應用,獲得了科學技術工作者的日益重視。例如采用減反射膜后可使復雜的光學鏡頭的光通量損失成十倍地減小;采用高反射比的反射鏡可使激光器的輸出功率成倍提高;利用光學薄膜可提高硅光電池的效率和穩定性。
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