三軸加速度傳感器原理 　　目前的加速度傳感器有多種實現方式，主要可分為壓電式、電容式及熱感應式三種，這三種技術各有其優缺點。以電容式3軸加速度計的技術原理為例。電容式加速度計能夠感測不同方向的加速度或振動等運動狀況。其主要為利用硅的機械性質設計出的可移動機構：由于加速度使得機械懸臂與兩個電極之間的距離發生變化，從而改變了兩個電容的參數。通過集成的開關電容放大電路量測電容參數的變化，形成了與加速度成正比的電壓輸出。因此3軸加速度傳感器必然包含一個單純的機械性MEMS傳感器和一枚ASIC接口芯片兩部分，前者內部有成群移動的電子，主要測量XY及Z軸的區域，后者則將電容值的變化轉換為電壓輸出。