單柵邏輯器件
單柵邏輯器件
相關文章 : 1篇
瀏覽 : 4次
本發明提供了一種嵌入式閃存器件.柵疊件包括布置在浮柵上方的控制柵極.擦除柵極布置為與柵疊件的第一側相鄰.字線布置為與第一側相對的柵疊件的第二側相鄰.字線包括相較于字線的頂面顯示出降低的高度且位于字線中與柵疊件相對的一側上的字線橫檔.多晶硅邏輯柵極的頂面基本與字線橫檔齊平.ILD層布置在柵疊件,擦除柵極,多晶硅邏輯柵極和字線上方.接觸件延伸穿過ILD層.本發明還提供了用于制造嵌入式閃存器件的方法.
推薦產品
列表欄目