超凈高純(VLSD) 試劑是大規(guī)模集成電路(IC) 及高檔半導(dǎo)體器件制造過(guò)程的專(zhuān)用化學(xué)品,主要用于硅單晶片的清洗、光刻、腐蝕工序中,它的純度和潔凈度對(duì)集成電路的成品率、電性能、可靠性都有著重要的影響。 超凈高純?cè)噭┩ǔS傻图冊(cè)噭┗蚬I(yè)品經(jīng)過(guò)純化精制而成,其工藝過(guò)程包括選料、提純、過(guò)濾、分裝、儲(chǔ)存等重要環(huán)節(jié)。
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