KLA公司確實發(fā)布了全新汽車產(chǎn)品組合以提高芯片良率及可靠性，以下是關于這一產(chǎn)品組合的詳細介紹：一、產(chǎn)品組合概述KLA公司發(fā)布的全新汽車產(chǎn)品組合包括四款主要產(chǎn)品：8935高產(chǎn)能圖案晶圓檢測系統(tǒng)C205寬波段等離子圖案晶圓檢測系統(tǒng)Surfscan? SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統(tǒng)I-PAT?在線缺陷部件平均測試篩選解決方案二、產(chǎn)品特點與功......