溝道器
溝道器
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實施例針對具有超長溝道的垂直場效應晶體管(VFET)的方法和所得結構.在襯底上形成一對半導體鰭片.在襯底上的半導體鰭之間形成半導體柱.在所有半導體鰭下方和部分半導體柱下方延伸的區域摻雜.在半導體鰭片的溝道區域和半導體柱上方形成導電柵極.當柵極被激活時,半導體柱的表面用作擴展的溝道
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