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傳光阻
傳光阻
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光阻稀釋劑的原料是環(huán)氧丙烷(propylene oxide,PO),PO 會(huì)煉制成丙二醇甲醚(propylene glycol methyl ether,PGME)和丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol methyl ether acetate,PGMEA),而電子級(jí)的PGME和PGMEA常以一定配比互溶,在例如半導(dǎo)體、陽(yáng)極感光材料、液晶顯示屏和光刻膠等的生產(chǎn)中可以作為光阻稀釋劑、光阻去除劑、去光阻緩沖液、剝離劑和清洗劑使用。