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射頻控制系統
射頻控制系統
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本發明提供一種射頻控制系統.RF電源系統用于將RF功率周期性傳輸至負載.功率放大器將RF信號輸出至該負載.傳感器測量提供至該負載的RF信號并輸出根據該RF信號而改變的信號.第一反饋回路能夠基于由傳感器的輸出確定的功率來控制該RF信號.第二反饋回路能夠基于由傳感器輸出的信號測量的能量來控制該RF信號.能量振幅和持續時間提供用于改變該RF信號的控制值.控制系統和技術方案適用于脈沖RF電源和各種連續波電源實例.