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微位移控制系統
微位移控制系統
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本發明公開了壓電位移器領域內的一種壓電微位移器驅動控制系統,包括由控制器,功率放大器以及位移測量設備組成的驅動系統,控制器的信號輸出端與功率放大器的信號輸入端相連,功率放大器的信號輸出端與被控電壓微位移機構的信號輸入端相連,被控電壓微位移機構的信號輸出端與位移測量設備的信號輸入端相連,位移測量設備的信號輸出端經低通濾波器控制器的信號輸入端反饋連接,本發明結構簡單,體積小,制造成本低廉,且精度較高,可用于測量精度需求較高的場合中.