多種MEMS傳感器都可以將感知到的物理量轉換成電信號輸出。以下是一些常見的可以轉換成電信號輸出的MEMS傳感器：

1. 加速度傳感器：

• 原理：通常通過微型化的質量塊和彈簧系統實現。當物體加速時，質量塊受到慣性力的作用發生位移，進而通過傳感器內部的電學元件（如電容或電阻）將位移轉換為電信號輸出。

• 應用：廣泛應用于智能手機（屏幕旋轉、運動跟蹤、摔倒檢測等）、汽車安全系統（碰撞檢測、車輛姿態控制等）、航空航天（慣性導航系統）等領域。

2. 陀螺儀：

• 原理：基于科里奧利力原理工作。當陀螺儀繞某一軸旋轉時，其內部的微型轉子會受到科里奧利力的作用而產生振動。通過檢測振動的頻率和相位差，可以計算出陀螺儀繞軸的角速度，并將其轉換為電信號輸出。

• 應用：廣泛應用于飛行器導航、虛擬現實頭盔、無人機等領域，用于確定物體的姿態和位置。

3. 壓力傳感器：

• 原理：通常利用壓阻效應、電容效應或壓電效應來測量壓力。當外部壓力作用于傳感器時，其內部的微型機械結構（如彈性變形的薄膜）會發生形變，導致電阻、電容或壓電效應的變化，從而產生電信號輸出。

• 應用：廣泛應用于汽車制動系統、空壓機、醫療器械等領域，用于監測壓力變化。例如，在汽車輪胎壓力監測系統中，壓力傳感器能夠實時監測輪胎內的壓力情況，確保行車安全。

4. 溫度傳感器：

• 原理：通常通過微型化的熱敏元件（如鉑電阻、熱電偶等）實現溫度測量。當環境溫度變化時，熱敏元件的電阻值或電動勢會發生變化，進而通過電路將溫度變化轉換為電信號輸出。

• 應用：用于測量物體的溫度，在消費電子、汽車工業、醫療設備和航空航天等領域都有廣泛應用。

5. 氣體傳感器：

• 原理：是一種能夠感知氣體濃度、成分等參數的MEMS傳感器。其工作原理可能基于化學反應、吸附/脫附效應或物理性質的變化等，將氣體濃度的變化轉換為電信號輸出。

• 應用：廣泛應用于環境監測、工業安全、智能家居等領域，用于實時監測空氣中的有害氣體濃度。

綜上所述，加速度傳感器、陀螺儀、壓力傳感器、溫度傳感器和氣體傳感器等多種MEMS傳感器都可以將感知到的物理量轉換成電信號輸出，這些電信號可以被后續的信號處理電路或微處理器進一步處理和分析。