原標題：晶瑞電材：ArF（193）高端光刻膠研發工作已正式啟動

晶瑞電材在高端光刻膠領域的研發工作一直備受關注，特別是在ArF（193nm）高端光刻膠方面，公司取得了顯著進展。以下是關于晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠研發工作的詳細情況：

一、研發工作正式啟動

晶瑞電材已經正式啟動了ArF（193nm）高端光刻膠的研發工作。這一決定是公司戰略布局的重要組成部分，旨在通過自主研發，打破國外技術壟斷，滿足國內集成電路產業對高端光刻膠的迫切需求。

二、研發進展與設備購置

在研發過程中，晶瑞電材已經完成了關鍵設備的購置和調試工作。這些設備包括光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等，其中ASML1900Gi型光刻機設備正在積極調試中。這些設備的到位和調試成功，為ArF高端光刻膠的研發工作提供了有力的技術保障。

三、KrF高端光刻膠的量產情況

值得注意的是，晶瑞電材在KrF（248nm）高端光刻膠的研發和量產方面也取得了重要進展。公司高端KrF光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，并進入客戶測試階段。目前，KrF高端光刻膠部分品種已經實現量產，這為公司積累了豐富的研發和生產經驗，也為ArF高端光刻膠的研發工作奠定了堅實基礎。

四、全產業鏈布局與技術攻關

晶瑞電材不僅注重光刻膠本身的研發和生產，還積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。公司旨在通過全產業鏈布局，實現關鍵材料的自主可控，提升整體競爭力。同時，公司還牽頭發起了超大規模集成電路用高端光刻膠技術攻關及產業化工程的攻關任務，旨在通過自主研發，打通ArF、KrF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，滿足當前集成電路產業關鍵材料市場需求。

五、未來展望

隨著全球集成電路產業的快速發展和國內市場的不斷擴大，高端光刻膠的需求量將持續增長。晶瑞電材作為國內領先的半導體材料供應商，將繼續加大在高端光刻膠領域的研發投入和產業化力度，推動公司技術水平和市場占有率的不斷提升。同時，公司也將積極尋求與國內外優秀企業的合作機會，共同推動半導體材料產業的創新發展。

綜上所述，晶瑞電材ArF（193）高端光刻膠的研發工作已經正式啟動并取得初步進展。公司將繼續秉承創新發展的理念，致力于成為全球領先的半導體材料供應商之一。