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中欣晶圓:連續成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量產可期

來源: 中電網
2021-09-17
類別:業界動態
eye 25
文章創建人 拍明

原標題:中欣晶圓:連續成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量產可期

中欣晶圓在半導體材料領域取得了重大突破,成功連續拉制出12寸450公斤投料晶棒,這一成就標志著其量產計劃已具備堅實基礎,量產前景可期。以下是對此事件的詳細分析:

一、技術突破與成果展示

  • 成功拉制:2021年8月17日,中欣晶圓研發團隊成功拉制出首根12寸450公斤投料晶棒。該晶棒凈重437.7公斤,體長2900mm,身長2400mm,良率達到87.6%,相較于之前300公斤投料量時的良率提高了4.6個百分點。緊接著,在同年9月5日,公司再次成功拉制出第二根同規格的投料晶棒,參數指標與首根晶棒幾乎一致,這標志著中欣晶圓已經具備了標準化量產12寸450公斤投料晶棒的技術和工藝水平。

  • 技術難度:在晶棒拉制過程中,投料量越多對工藝、單晶爐臺控制精度等方面的要求就越高。由于32寸石英坩堝一次性最多能裝340公斤的多晶硅料,因此投料量增加至450公斤必須采用二次投料技術來實現。中欣晶圓研發團隊在前期8寸二次投料技術的基礎上,針對12寸單晶爐結構進行了優化設計,并成功配套使用了二次投料工裝,從而實現了大質量晶棒的連續拉制。

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二、量產計劃與產能提升

  • 產能現狀:中欣晶圓是國內少數能量產12英寸大硅片的半導體材料企業之一,目前具備6英寸及以下40萬片/月、8英寸45萬片/月、12英寸10萬片/月的產能。公司計劃在2022年將12英寸硅片的月產能提升至20萬片,以滿足市場對高端半導體材料的需求。

  • 量產前景:大質量晶棒的拉制成功不僅提升了中欣晶圓的月產量,還提高了單根晶棒的可利用率和12寸硅片的良率與穩定性。在直徑相同的情況下,大質量晶棒意味著長度的增加,從而減少了頭料和尾料的浪費,提升了晶棒的整體利用率。此外,投料量的增加也使得在相同價格的石英坩堝及輔材下產出更多產品,降低了生產成本。這些因素共同為中欣晶圓的量產計劃奠定了堅實基礎。

三、市場影響與戰略意義

  • 市場影響:在全球半導體材料市場中,中欣晶圓的這一技術突破無疑將提升其市場地位和競爭力。隨著全球半導體產業的快速發展和國產替代趨勢的加強,中欣晶圓有望憑借其在12英寸大硅片領域的領先技術和產能優勢占據更多市場份額。

  • 戰略意義:中欣晶圓堅持面向國家半導體行業的重大戰略需求,以發展中國半導體材料為己任。在技術上勇于突破、不斷創新,為大硅片國產化做出了重要貢獻。同時,公司還積極向國內外客戶供應高品質的正片產品,助力全球半導體產業的發展。

綜上所述,中欣晶圓連續成功拉制12寸450公斤投料晶棒是其技術實力和量產能力的集中體現。隨著公司產能的不斷提升和技術的持續創新,中欣晶圓有望在半導體材料領域取得更加輝煌的成就。


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