原標(biāo)題：國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線成功通線

國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線的成功通線，標(biāo)志著我國在先進(jìn)傳感器技術(shù)領(lǐng)域取得了重要突破。以下是對該中試線的詳細(xì)介紹：

一、中試線基本信息

• 建設(shè)單位：國家智能傳感器創(chuàng)新中心

• 建設(shè)地點(diǎn)：上海嘉定工業(yè)區(qū)

• 中試線規(guī)格：國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器中試線

二、中試線技術(shù)與設(shè)備

• 主要設(shè)備：以國產(chǎn)設(shè)備為主

• 核心技術(shù)：具備晶圓鍵合、晶圓減薄、干濕法刻蝕、物理和化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、化學(xué)機(jī)械研磨、濕法清洗、自動化量測等先進(jìn)傳感器和晶圓級3D集成技術(shù)的核心工藝能力

三、中試線功能與服務(wù)

• 功能：為國產(chǎn)裝備提供驗證平臺，加速先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化，實現(xiàn)自主可控

• 服務(wù)：提供產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗證等服務(wù)

四、中試線研發(fā)方向與產(chǎn)業(yè)化

• 研發(fā)方向：面向新興技術(shù)發(fā)展和市場應(yīng)用需求，持續(xù)開發(fā)新材料、新工藝、新器件和新集成等關(guān)鍵共性技術(shù)

• 重點(diǎn)突破：重點(diǎn)突破光學(xué)、聲學(xué)、力學(xué)、生物等先進(jìn)傳感器的核心工藝

• 產(chǎn)業(yè)化：推動相關(guān)產(chǎn)品及應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)化

五、中試線的影響與意義

• 行業(yè)影響：中試線的成功通線有利于打造一個集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，推進(jìn)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)、學(xué)、研、用的協(xié)同發(fā)展

• 區(qū)域發(fā)展：以研發(fā)中試線為支點(diǎn)，可以撬動更多創(chuàng)新企業(yè)和高層次人才團(tuán)隊來到嘉定，開展產(chǎn)品技術(shù)研發(fā)，助力嘉定打造千億級智能傳感器及物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)

• 國家戰(zhàn)略：符合我國加快推動先進(jìn)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的國家戰(zhàn)略需求，有助于提升我國在全球傳感器市場的競爭力

綜上所述，國內(nèi)首條12英寸先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線的成功通線是我國傳感器技術(shù)領(lǐng)域的一次重要里程碑，對于推動我國傳感器產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展具有重要意義。