原標題：佳能全新FPD曝光設備，滿足新一代面板制造高精細化需求

佳能全新FPD曝光設備通過多項技術創新，顯著提升了高精細化面板制造能力，滿足新一代顯示技術需求。

一、技術突破與性能提升

1. 高分辨率與曝光精度

• MPAsp-E1003H：支持第6代玻璃基板，采用投影光學系統實現1.5μm（L/S）高分辨率，較上一代產品提升約20%。

• MPAsp-E903T：針對中小型顯示面板，解析度達1.2μm（L/S），通過DUV（深紫外線）波長光源與新光學系統，實現高精細化曝光。

2. 生產效率與良率優化

• 曝光幅面與次數優化：MPAsp-E1003H一次曝光幅面擴大約1.2倍，智能手機面板生產從6shot曝光減少至4shot，車載橫向大型顯示器實現2shot無接縫曝光。

• 驅動速度與tact time提升：玻璃基板搭載臺驅動速度提升60%，tact time縮短14%，量產效率顯著提高。

3. 套刻精度與工藝穩定性

• 非線性補正REI模塊：搭載實時均等化失真圖像技術，實現±0.30μm高套刻精度，較上一代±0.25μm進一步提升。

• 溫度調節與內部布局優化：通過改進設備內部結構，確保高套刻精度的同時提升工藝穩定性。

二、應用場景與市場定位

1. 車載顯示器

• 針對自動駕駛與電動汽車市場，MPAsp-E1003H可生產輕薄、高精度車載橫向大型特殊顯示器，滿足多樣化布局需求。

2. 智能手機與中小型面板

• MPAsp-E903T專注于高精細化中小型顯示面板，適用于OLED折疊屏、VR設備等對分辨率要求極高的應用場景。

3. 高附加值顯示面板

• 佳能設備致力于超高精細與可折疊式面板的量產，助力顯示技術向更高附加值領域發展。

三、行業影響與競爭格局

1. 技術領先性

• 佳能通過持續創新，在FPD曝光設備領域保持技術優勢，尤其在大型面板與高精細化中小型面板市場占據重要地位。

2. 市場競爭

• 佳能與尼康等廠商形成競爭格局，佳能擅長大型面板曝光設備，尼康則在中小型面板領域更具優勢。

3. 行業趨勢

• 隨著顯示技術向高精細化、輕薄化、大型化發展，佳能設備的技術突破將推動行業向更高水平邁進。

四、未來展望

佳能全新FPD曝光設備通過高分辨率、高效率、高精度的技術優勢，滿足了新一代面板制造的高精細化需求。未來，隨著顯示技術的不斷演進，佳能有望繼續引領行業創新，推動FPD曝光設備向更高性能、更廣泛應用場景發展。