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佳能全新FPD曝光設備,滿足新一代面板制造高精細化需求

來源: 中電網
2020-11-18
類別:新品快報
eye 25
文章創建人 拍明

原標題:佳能全新FPD曝光設備,滿足新一代面板制造高精細化需求

佳能全新FPD曝光設備通過多項技術創新,顯著提升了高精細化面板制造能力,滿足新一代顯示技術需求。

一、技術突破與性能提升

  1. 高分辨率與曝光精度

    • MPAsp-E1003H:支持第6代玻璃基板,采用投影光學系統實現1.5μm(L/S)高分辨率,較上一代產品提升約20%。

    • MPAsp-E903T:針對中小型顯示面板,解析度達1.2μm(L/S),通過DUV(深紫外線)波長光源與新光學系統,實現高精細化曝光。

  2. 生產效率與良率優化

    • 曝光幅面與次數優化:MPAsp-E1003H一次曝光幅面擴大約1.2倍,智能手機面板生產從6shot曝光減少至4shot,車載橫向大型顯示器實現2shot無接縫曝光。

    • 驅動速度與tact time提升:玻璃基板搭載臺驅動速度提升60%,tact time縮短14%,量產效率顯著提高。

  3. 套刻精度與工藝穩定性

    • 非線性補正REI模塊:搭載實時均等化失真圖像技術,實現±0.30μm高套刻精度,較上一代±0.25μm進一步提升。

    • 溫度調節與內部布局優化:通過改進設備內部結構,確保高套刻精度的同時提升工藝穩定性。

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二、應用場景與市場定位

  1. 車載顯示器

    • 針對自動駕駛與電動汽車市場,MPAsp-E1003H可生產輕薄、高精度車載橫向大型特殊顯示器,滿足多樣化布局需求。

  2. 智能手機與中小型面板

    • MPAsp-E903T專注于高精細化中小型顯示面板,適用于OLED折疊屏、VR設備等對分辨率要求極高的應用場景。

  3. 高附加值顯示面板

    • 佳能設備致力于超高精細與可折疊式面板的量產,助力顯示技術向更高附加值領域發展。

三、行業影響與競爭格局

  1. 技術領先性

    • 佳能通過持續創新,在FPD曝光設備領域保持技術優勢,尤其在大型面板與高精細化中小型面板市場占據重要地位。

  2. 市場競爭

    • 佳能與尼康等廠商形成競爭格局,佳能擅長大型面板曝光設備,尼康則在中小型面板領域更具優勢。

  3. 行業趨勢

    • 隨著顯示技術向高精細化、輕薄化、大型化發展,佳能設備的技術突破將推動行業向更高水平邁進。

四、未來展望

佳能全新FPD曝光設備通過高分辨率、高效率、高精度的技術優勢,滿足了新一代面板制造的高精細化需求。未來,隨著顯示技術的不斷演進,佳能有望繼續引領行業創新,推動FPD曝光設備向更高性能、更廣泛應用場景發展。


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標簽: 全新FPD

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